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Von Mikro bis Nano …

Als Kompetenzzentrum für Mikro- und Nanotechnologien (KMNT) am Leibniz-Institut für Photonische Technologien in Jena (Leibniz-IPHT) sind wir spezialisiert auf die Fertigung von Infrarot-Thermosensoren, verfügen über die Fähigkeit der Nanostrukturierung auf Waferlevel und bieten für Interessenten und externe Kunden eine Reihe von speziellen mikrofabrizierten Produkten und Dienstleistungen auf dem Gebiet der planaren Mikrostruktur-Technologie sowie einem breiten Spektrum festkörperanalytischer Methoden an. Wir verfügen dabei über ein breites Spektrum von waferskaliger Elektronenstrahllithographie bis hin zu photolithographisch basierten MEMS-Technologien und bearbeiten damit eine Vielzahl unterschiedlichster Dünnschichtmaterialien – auch solchen, die in der klassischen Halbleiterfertigung nicht vorkommen.

Produkte und Dienstleistungen

TS-4x200 Sensor 2

IR-Strahlungsdetektoren

Infrarot-Thermosensoren mit breitem Einsatzspektrum von der Medizintechnik bis zu Weltall-Missionen

Mikroskopiezubehör

Finder Grids zum problemlosen Wiederauffinden von einzelnen Partikeln,

Auflösungsobjekte für die hochauflösende optische Mikroskopie bis in den UV-Bereich

Services

Material- und Mikrostrukturanalyse für Kundenproben

Absorberschichten auf Basis unseres patentierten 3D-ALD-Verfahrens

NIL-Master mit großflächigen Nanostrukturen

Kundenspezifische Dienstleistungen

Unser hochqualifiziertes Team von Wissenschaftlern, Ingenieuren und Laboranten unterstützt Sie bei der Entwicklung und Herstellung von maßgeschneiderten Sensoren für verschiedenste Anwendungen der Thermosensorik. Von der Konzeptentwicklung bis hin zur Serienfertigung — wir begleiten Sie in jedem Schritt des Prozesses und stellen sicher, dass Ihre Sensorlösungen den höchsten Ansprüchen gerecht werden.

Unsere Reinraumlabore und modernen Fertigungseinrichtungen ermöglichen die Produktion von Mikro- und Nanosensoren mit höchster Präzision und Qualität. Wir setzen auf neueste Technologien und innovative Verfahren, wie z.B. lithographische Prozesse, Ätztechniken und Dünnschichtabscheidungen, um maßgeschneiderte Sensorlösungen für unsere Kunden und Forschungspartner zu realisieren.

Anwendungsbereiche der IR-Strahlungsdetektoren

IR-Sensoren für Atemgasanalyse, Narkosegasanalyse und Industriegasdetektion

IR-Sensoren für Metall-, Glas-, Keramik- und Chemieproduktion, Brandfrüherkennung, thermische Inspektionen und Weltraumexploration

Sensoren für die spektroskopische Analyse von Gasen und Flüssigkeiten

Als Teil eines umfangreichen Netzwerks von Unternehmen, Forschungseinrichtungen und Hochschulen sind wir bestens vernetzt und immer auf dem neuesten Stand der Technik. Profitieren Sie von unserer langjährigen Erfahrung und unserem umfassenden Know-how in der Sensorfertigung, um Ihre Innovationsvorhaben erfolgreich umzusetzen.

Entdecken Sie das Potenzial der Mikro- und Nanotechnologien für Ihre Sensorlösungen im Kompetenzzentrum für Mikro- und Nanotechnologien in Jena. Kontaktieren Sie uns noch heute und lassen Sie uns gemeinsam an Ihren Sensorinnovationen arbeiten!

Unser Kompetenzteam

Dr. Uwe Hübner

Ihr Ansprechpartner für Mikroskopiezubehör und kundenspezifische Anfragen

Leiter des Kompetenzzentrums für Mikro- und Nanotechnologien

Andreas Ihring

Ihr Ansprechpartner für Infrarot-Thermosensoren

Dr. Mario Ziegler

Ihr Ansprechpartner für Optische Funktionsschichten

Dr. Jan Dellith

Ihr Ansprechpartner für Material- und Mikrostrukturanalyse