Über uns

Wir sind ein ca. 30-köpfiges Team mit langjähriger Erfahrung auf dem Gebiet der Mikro- und Nanostrukturierung und der Mikroanalytik. Als Technologiegruppe verkörpern wir das Kompetenzzentrum für Mikro- und Nanotechnologien (KMNT) des Leibniz-IPHT in Jena.

Bei uns entstehen auf Basis von top-down-Dünnschichtprozessen chip- und waferbasierte mikro- und nanoskalige Funktionselemente für die Forschungsinhalte des Institutes. Dazu steht uns ein exzellent ausgestatteter 700m² großer Reinraum der ISO-Klasse 4 zur Verfügung.

Neben den Forschungsaktivtäten für das Institut bieten wir auch Lösungen für spezielle kundenspezifische Fragestellungen an.

• Unsere Infrarot-Thermosensoren sind im Einsatz in der Medizintechnik und im All.
• Echte waferskalige Nanolithographie ist die Basis für die Herstellung von NIL-Master und Auflösungsobjekten für hochauflösende optische Mikroskopie bis in den UV-Bereich.
• Unser patentiertes Atomlagenabscheideverfahren ermöglicht Schwarzschichten mit Absorption über einen extrem weiten Frequenzbereich.
• Für die Material- und Mikrostrukturanalyse an Kundenproben stehen uns ionen- und elektronenoptische, taktile und röntgenbasierender Methoden zur Verfügung.