Beschreibung
Der TS-76 ist eine Kombination aus einer Dünnschicht-Thermosäule (76 Thermoelemente) mit einem mäanderförmigen Dünnfilmheizelement und einer thermisch ausgleichenden Ag-Schicht, wobei alle Schichten gegeneinander elektrisch isoliert sind. Durch den Heizer sind einfache elektrische Kalibrierungen und (Langzeit-)Stabilitätstests möglich.
Obwohl alle Elemente eines elektrisch kalibrierten oder elektrisch substituierten Radiometers enthalten sind, wird der TS-76 im Allgemeinen nicht als absolutes Radiometer, sondern als Sekundär- oder Transferstandard verwendet. Die absorbierende Schicht wird aus Ag-Schwarz hergestellt und zeigt eine sehr hohe breitbandige Absorbtion im infraroten Bereich. Die Dünnschicht-Thermosäule wird aus hocheffizienten Bismut- und Antimonschichten durch mikrolithographische Verfahren hergestellt.
Der Sensor mit einer Empfangsfläche von 7 mm Durchmesser ist auf einer dünnen Siliziumnitrid-Membran getragen. Die Abmessungen des Si-Chips betragen 12,5 mm x 12,5 mm. Der Chip wird im Allgemeinen auf einen Sockel montiert und in einem speziellen Metallgehäuse untergebracht, das mit Xe-Gas gefüllt ist. Das Eintrittsfenster ist keilförmig mit einem Winkel von etwa 1,5°.
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Andreas Ihring
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