Modifizierter USAF-Test

Lateraler Auflösungstest für die optische Mikroskopie und REM

In Anlehnung an den bekannten USAF Resolution Test Chart  („USAF-Auflösungstesttafel“ aus dem Jahre 1951) zur Feststellung und Kontrolle des Auflösungsvermögen von optischen Instrumenten, bieten wir eine hochauflösende Version mit Gitterperioden bis 274 nm (= 3649 Lp/mm). 

• Substrat:  Si
• Chipgröße:  10 x 10 mm²
• Strukturmaterial:  50 nm Gold