ZS-64.2 Infrarotsensor-Array

Anwendungsfeld:

Spektrale-Gasdetektion (NDIR Spektroskopie mit 64 Pixeln)

Merkmale:

Hohe Detektivität
Exzellente Langzeitstabilität
Hohe spektrale Empfindlichkeit
Absorptionseigenschaften auf Anwendung anpassbar
Keine Kühlung, Bias-Spannung, sowie Strom sind für den Betrieb erforderlich

Liefermengen: auf Anfrage

Beschreibung

Der ZS-64.2 ist ein MEMS-basierter Mikrochip mit 64 Pixeln á 30 Thermoelementpaaren. Die 64 Empfängerflächen haben eine Größe von 0,45mm x 1,5mm und sind auf einer Linie mit einer Periode von 0,5mm angeordnet. Für ausgezeichnete Detektivität sorgen die mikrostrukturierten Antimon- und Bismut-Dünnschichten. Das Sensorsubstrat besteht aus Silizium. Über eine Spezialbeschichtung erreicht der Sensor eine sehr hohe und breitbandige Absorption im infraroten Spektralbereich. Das Übersprechen zwischen benachbarten Pixeln ist durch Schlitze in der Membran minimiert.

Der Mikrochip wird auf Blue-Tape im Waferformat ausgeliefert.