FIB/REM-Präparation und Strukturierung

Wir bieten ein breites Methodenspektrum zur Probenpräparation und Oberflächenstrukturierung

– Oberflächenstrukturierung mittels Ionenfeinstrahl (FIB; Ga+)

– Oberflächenpolitur mittels Ionen (Ar+)

– Präparation von Querschnitten (Ga-FIB und Ar-Cross Section Polisher)

– Hochvakuumverdampfen (Kohlenstoff, diverse Metalle)

– Sputtern (diverse Metalle)

Beschreibung

  • Ionenfeinstrahl (FIB)
    • FEI Helios Nanolab G3 UC (Ga+, 30keV, 50nA)
    • Tescan Lyra XMU (Ga+, 30keV, 10nA)
  • Ionenstrahlätzen
    • JEOL IB-9010CP (Ar+; 6keV; 150 µA)
  • Hochvakuumverdampfen
    • Leica ACE600 mit C-Filament
  • Sputter Coater
    • BalTec Med20 (Cr, Ta, Pt, Au)

Angebot | Kontakt

Dellith

Dr. Jan Dellith
Ihr Ansprechpartner für Material- und Mikrostrukturanalyse

Telefon: +49 (0) 3641 · 206-104
Email: jan.dellith@leibniz-ipht.de