Strukturaufklärung
Strukturaufklärung – Bild 2

Strukturaufklärung

Strukturaufklärung mit Röntgendiffraktometrie (XRD) und Röntgenreflektometrie (XRR)

Mit XRD werden an Festkörpern (Bulk, Pulver oder dünne Schicht) kristalline Phasen identifiziert, quantifiziert und Kristallitgrößen bestimmt.

An dünnen Schichten werden Epitaxie-Eigenschaften ermittelt mittels Textur-Messungen und Reciprocal Space Maps (RSM)

Mittels XRR werden Schichtdicken bis 300 nm Dicke gemessen und Rauheiten von Substraten und Schichten ermittelt.

 

 

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Beschreibung

Röntgendiffraktometer Panalytical X`Pert Pro, Eigenschaften:

theta-theta Diffraktometer mit horizontaler Probenposition

Kupfer-Röntgenröhre

Optiken Eingangsstrahl:

  • Programmierbarer Divergenzschlitz,
  • Parallelspiegel,
  • fokussierender Spiegel,
  • Hybridmonochromator (reine kAlpha1-Strahlung),
  • Fixed Collimator Point Source

Optiken gebeugter Strahl :

  • Programmierbarer Antiscatterschlitz,
  • fester Antiscatterschlitz,
  • Parallel Plate Collimator

Halbleiter-Detektoren :

  • PIXCEL1D Liniendetektor,
  • PIXCEL3D Flächendetektor

Probenbühnen:

  • für 4-Zoll-wafer geeignete, um 7,5 cm höhenverstellbare IR Stage,
  • Reflection-Transmission-Spinner mit 15x-Wechselmagazin,
  • offene 4-Achsen-Eulerwiege (Phi-,PSI-,X- und Y-Achse),
  • Kapillarspinner,
  • Festbühne

Angebot | Kontakt

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